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    昆山瑞塞奇精密儀器有限公司
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    全新掃描電鏡(Hitachi)

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    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)
    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)
    產品概述:
    超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列 "Regulus系列"現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Re…
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    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)

    超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列


           Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)

    "Regulus系列"

    現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100 

    "Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

    通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現有機型相比提高了20%左右。

    此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
    Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的良好性能。

    *1

    僅限Regulus8240/8230/8220



    特點

    • 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2

    • 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的良好性能

    • 與現有機型相比分辨率提高了20%左右
      (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

    • 采用污染小、高真空樣品倉

    • 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

    極低著陸電壓下高分辨觀察

    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)

    樣品:金顆粒
    著陸電壓:10 V

    超高分辨觀察

    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)

    樣品:Pt催化劑
    加速電壓:30 kV

    低加速電壓下高分辨EDX分析

    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)

    樣品:Sn球
    著陸電壓:1.5 kV

    *2  僅限Regulus8240/8230/8220


    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)



    規格

    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)


    *3  減速模式下觀察

    *4  以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率

    Regulus SEM Layout

    Regulus系列 (超高分辨場發射掃描電子顯微鏡)


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